Hovedtrekk:

1. Denne maskinen er egnet for presisjonssliping og polering av halvledermaterialer med høy hardhet og høye krav til prosessnøyaktighet. Den er spesielt egnet for bearbeiding av tynne deler. Poleringstrykket er jevnt og det er ikke lett å fragmentere.

2. Det indre av verktøymaskinen bruker DuPont Teflon anti-korrosjonsbehandling for å sikre levetiden til delene.

3. Den nedre platen støttes av en avansert oljeflytende hydrostatisk plattform for å sikre støttestivheten og rotasjonsnøyaktigheten til den nedre platen.

4. Den øvre platen trekkes av et ståltrådbalansesystem, som automatisk kan justere nivået på den øvre platen.

5. Det ytre ringgiret heves og senkes av oljetrykk, mens den nedre platen forblir fast, slik at den nedre platen oppnår høyere presisjon og stabilitet.

6. Maskinverktøyet er utstyrt med en automatisk online måleenhet, som kan oppnå nøyaktig kontroll av slipetykkelsen og størrelsen på arbeidsstykket.